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概要

製品について

独自の高機能材料技術、メタライズ、接合、封止等のプロセス技術および熱設計技術を組み合わせることにより、各種熱特性に優れた熱制御デバイスを提供します。本技術を応用した半導体製造装置用ヒータは、優れた面内均熱性や急速昇降温特性を有しています。

当社の熱制御デバイス（枚葉式半導体成膜装置向け高精度温度分布制御システムSumiTune）ついて、ご検討にあたりご不明な点などがありましたら、お気軽にお問い合わせください。内容に応じて専門スタッフがお応えします。